具有化学状态信息的高度敏感表面元素分析
X射线光电子能谱（XPS）否则称为用于化学分析（ESCA）的电子光谱（ESCA）是用于鉴定样品表面的元素组成的方法（20-50埃）。使用单色X射线束，ESCA导致核心电子的发射。发射电子的动能等于入射的X射线能量较少较少的电子的结合能和仪器的功函数。
然后观察到的电子的动能与结合能量有关，其允许元素识别。弹出的电子只能从大约3纳米或更小的深度逸出，使电子光谱最为有用的是研究固体材料的表面。根据元件的检测限制通常大约为0.2％的原子百分比。ESCA检测除H和H除外的所有元素，也可用于表征与特定元素相关联的特定功能组。
- 表面化学成分的信息
- 显示原子的化学环境
- 试样（氧化深度和氧化态）的氧化分析
