具有化学状态信息的高灵敏度表面元素分析
x射线光电子能谱(XPS)也被称为化学分析电子能谱(ESCA)，是一种用于鉴定样品表面元素组成的方法(20-50Å)。利用单色x射线束，ESCA引起核心电子的发射。发射电子的动能等于入射的x射线能量减去电子的结合能和仪器的功函数。
观察到的电子动能与结合能相关，这允许元素识别。发射的电子只能从大约3纳米或更少的深度逃逸，这使得电子光谱学对研究固体材料的表面最有用。根据元素的不同，检测限一般在~0.2%的原子百分数上。ESCA检测除H和He外的所有元素，也可用于表征特定元素的特定官能团。
- 表面化学成分信息
- 表示原子的化学环境
- 试样氧化分析(氧化深度、氧化状态)
