成像地形特征和化学相位差，与元素分析
SEM-EDX可用于提供直径小至纳米的区域的表面元素组成信息。一个精细调谐的电子束扫描样品，并监控来自样品表面的反射电子。电子束的冲击产生x射线，这是样品中元素的特征。SEM-EDX还能够分析多个点，以创建样品表面的元素图，这可以表明材料存在于宽相或小的局部杂质。SEM-EDX可以检测从B到U的所有元素，检测限为1000 - 3000ppm，深度分辨率为0.5-3um，探针尺寸为15-45 Å。
- 表面元素组成的鉴定
- 薄膜分析
- 表面形貌检查
- 粒子污染识别
- 微量杂质斑点的鉴别
