扫描电子显微镜(SEM)是一种先进的分析工具,可以大大超出传统光学显微镜的能力。复合显微镜中的放大镜标准阵列使得使用400-700纳米(NM)范围上的可见波长的可见波长,使样品放大至1000倍。这使分析人员能够在没有更接近200nm的标本中光学解析点。靠近该较低检测范围的地形特征不能以任何程度的可靠性区分。
随着对纳米尺度材料表征和元素地形测量的需求在世界范围内日益普及,传统显微技术的波长范围是一个限制因素。扫描电子显微镜的发展,提供了新的方法,通过电子扫描的样品成像。
该博客文章将更详细地探讨扫描电子显微镜的工作原理和应用。
扫描电子显微镜如何工作
扫描电子显微镜的核心是一个高能电子源,它位于一系列聚光透镜和光圈之上,将这些电子聚焦成束。在最后的透镜光圈之前,通过一组偏转线圈或扫描线圈来改变光束的位置。样品放置在电子束的路径上,电子束通过偏转线圈连续偏转成光栅扫描图案。
当电子冲击表面时,它们产生次级和后散射电子(BSE),以及X射线。样品室中的BSE和X射线探测器获取这些信号,该信号是样本的元素组成,形态和结晶结构的特征。随后可以用于对样品表面的元素组成进行成像并确定具有显着提高的分辨率的地形样品特征的成像。
扫描电子显微镜可以产生样品的3D化学表面图,其放大能力可达50,000倍。这提供了高横向分辨率,范围从毫米到纳米(> 10nm),而能量分散X射线(EDX)分析提供1000-3000分(PPM)的化学检测限。
扫描电子显微镜的应用
扫描电子显微镜是一种强大的分析工具,具有广泛的商业,分析和工业空间中的实际应用。它广泛用于质量控制(QC)和对药品的良好检测,并证明可用于检测和识别制造商中的未知污染物。
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